版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、多孔硅薄膜傳感技術(shù)是20世紀(jì)90年代發(fā)展起來的一門嶄新的傳感器技術(shù)。早期的傳感技術(shù)研究大多集中在多孔硅的電學(xué)特性變化來實(shí)現(xiàn)對易揮發(fā)有機(jī)氣體的探測。但是在惡略環(huán)境下,電學(xué)接觸會引發(fā)爆炸或火災(zāi)。因而,基于多孔硅光學(xué)特性的硅傳感技術(shù)研究具有很大的應(yīng)用價值。 本文首先從多孔硅光學(xué)特性參數(shù)的概念入手,利用Kramers-Kroning關(guān)系得到這些光學(xué)參數(shù)之間的聯(lián)系;用光度法推導(dǎo)出利用多孔硅的反射譜求取光學(xué)常數(shù)的過程。 然后,文章采
2、用制備出性能優(yōu)良的多孔硅,并搭建多孔硅反射譜測量系統(tǒng),測量其反射譜;根據(jù)推導(dǎo)的光學(xué)常數(shù)間關(guān)系,從實(shí)驗(yàn)的角度確定了實(shí)驗(yàn)用多孔硅試樣的光學(xué)特性譜圖,從而得出入射波長和孔隙率對其光學(xué)性能的影響,為進(jìn)一步優(yōu)化多孔硅光學(xué)性能,研究基于光學(xué)性能的多孔硅氣體傳感器打下基礎(chǔ)。 最后,以幾種易揮發(fā)、易爆炸有機(jī)氣體為例,利用多孔硅反射譜的漂移進(jìn)行了多孔硅作為氣體傳感器實(shí)驗(yàn)研究。同時,將多孔硅看作一維光子晶體,利用傳輸矩陣的方法仿真了多孔硅氣體傳感器
3、的反射譜及有機(jī)氣體作用后的反射譜特性。 多孔硅的性能不穩(wěn)定,且反射譜帶寬很大,所以利用多孔硅的反射譜漂移探測有機(jī)氣體,會給實(shí)驗(yàn)帶來很大的誤差。因而,本文對實(shí)驗(yàn)的各方面進(jìn)行了改善。采用脈沖電化學(xué)腐蝕方法制備多孔硅,用正交實(shí)驗(yàn)方法優(yōu)化實(shí)驗(yàn)參數(shù),并運(yùn)用陽極氧化表面處理技術(shù)對多孔硅進(jìn)行后處理,采用多孔硅微腔來進(jìn)行多孔硅的傳感特性研究。 與以往的研究相比,利用光學(xué)特性-反射譜的漂移研究多孔硅傳感技術(shù)是一種光學(xué)無電測量方法,避免了由
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 新型多孔硅乙醇?xì)怏w傳感器的研究.pdf
- 基于多孔硅的光學(xué)傳感器的研究.pdf
- 多孔硅相對濕度傳感器的研究.pdf
- 多孔硅薄膜濕度傳感器的研制.pdf
- 基于多孔硅的化學(xué)氣敏傳感器研究.pdf
- 面向MEMS的多孔硅基溫度傳感器研究.pdf
- 多孔硅光子晶體的氣體傳感技術(shù)的研究.pdf
- 應(yīng)用于生物傳感器的硅基有序多孔硅的研究.pdf
- 基于多孔硅生物傳感器原理性研究
- 基于多孔硅生物傳感器原理性研究.pdf
- 低功耗多孔硅氣敏傳感器性能研究.pdf
- 多孔硅基復(fù)合薄膜氣敏傳感器的研究.pdf
- 多孔硅基氧化鎢氣敏傳感器的研究.pdf
- 硅基熱溫差式氣體流量傳感器的研究.pdf
- 光纖光學(xué)式甲烷氣體傳感器的設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)研究.pdf
- 采用MEMS技術(shù)研制硅氣體流速傳感器.pdf
- 光譜吸收型光纖氣體傳感器的研究和設(shè)計(jì).pdf
- 基于MEMS的硅梁諧振式氣體傳感器研制.pdf
- 硅微微壓傳感器設(shè)計(jì)研究.pdf
- 硅基納米多孔氧化鋁濕度傳感器研究.pdf
評論
0/150
提交評論