支持概率的光刻熱點修復數據的存儲管理.pdf

1、在目前快速發(fā)展信息時代,不確定數據的地位和作用越來越大。XML的半結構化、自描述性好及可擴展性高等許多優(yōu)點,使其在概率數據表示上與關系概率模型相比較占優(yōu)勢。
　　 本文將概率數據庫的概念引入到實際工作中,對實際工作中的一種用于交換光刻熱點數據的文件格式進行改進,從而解決現(xiàn)有的工具運行時間過長等問題。
　　 越來越多的客戶要求在流片(tape out)之前消除設計規(guī)則檢查(Design Rule Check,簡稱DRC)錯

2、誤和光刻熱點(lithography hotspots)。為了達到這個目的,我們公司去年提出一種基于XML的文件格式——光刻熱點修復數據文件,該文件是由signoff工具產生,然后布線工具根據該文件的信息去修改版圖,從而修正復雜的DRC錯誤和光刻熱點。該文件包括錯誤描述,和若干種修正指導建議,這些修正指導建議不保證能夠修復對應的錯誤,也就是說每一個建議都有一定的成功概率,我們的布線工具會根據這些建議依次試下來,這樣有很多隨機性,最差的情

3、況是每一個錯誤都要試著修正很多次,對運行時間以及內存消耗都有很大影響,當然我們可以要求這些修正建議要按照成功概率依次排列,這樣工具就有可能節(jié)省運行時間以及內存消耗,但是這樣帶來的問題是很難進行插入操作。
　　 為了克服以上缺點,本文提出了將光刻熱點修復數據文件改進成用概率XML描述,給每一種修正建議付上概率值,從而達到改進運行時間及內存消耗的日的。實驗結果表明對于絕大部分design,運行時間和內存消耗都有改進。