氣動膜片式金屬微滴噴射理論與實驗研究.pdf

1、本文的目標就是研究一種微滴噴射新技術，克服當前高溫下微米級金屬液滴噴射技術存在的不足，實現(xiàn)金屬焊料微滴的精確噴射，為高密度微電子封裝提供新的技術方案。
　　 本文首先在分析現(xiàn)有微滴噴射技術，特別是按需微滴噴射技術發(fā)展現(xiàn)狀的基礎上，結合壓電式微滴噴射和氣壓直接驅動式微滴噴射技術的優(yōu)點，克服各自的不足，提出了一種氣動膜片式按需微滴噴射技術。氣動膜片式微滴噴射系統(tǒng)由儲料腔、節(jié)流裝置、驅動膜片、噴嘴以及放氣孔等部分組成。該系統(tǒng)具有結構簡

2、單、成本低、耐高溫工作環(huán)境，靠近噴嘴激勵，壓力波形可控等優(yōu)點。
　　 在分析氣動膜片式微滴噴射過程的基礎上，對膜片變形和頻率特性進行了研究。并建立了微滴噴射過程中儲料腔、流體工作腔、氣體工作腔以及噴嘴和節(jié)流裝置內流體流動方程，從而構建氣動膜片式微滴噴射過程的數(shù)學模型。以MATLAB為分析計算工具，得到了各工作參數(shù)如驅動壓力、脈寬對微滴噴射過程的影響。
　　 高精度微噴嘴是決定微滴噴射成敗的關鍵，為此我們研制了金剛砂輪磨削

3、輔助線電火花磨削電極的微電火花加工系統(tǒng)以及玻璃拉針裝置，加工出滿足微滴噴射要求的微米級玻璃噴嘴和不銹鋼噴嘴。并設計制作了氣動膜片式微滴噴射裝置，搭建了微滴噴射實驗系統(tǒng)，該實驗系統(tǒng)包括溫度控制、運動控制、氣壓控制和高速成像四個子系統(tǒng)。其中高速成像技術是進行微滴噴射機理研究的關鍵技術之一，為此，本文以數(shù)字相機和脈沖延時電路為核心，構建了低成本高速成像系統(tǒng)，實現(xiàn)了對微滴噴射過程不同狀態(tài)圖像的采集，為進行微滴噴射機理和實驗研究提供了基礎。

4、>　　 然后以水為對象，并利用高速攝像技術對噴射過程進行拍照的方法，進行氣動膜片式微滴噴射機理研究，分析微滴噴射過程中各控制參數(shù)對噴射質量的影響。確定了微滴噴射過程中的幾個工作參數(shù)如背壓、驅動壓力、脈沖高電平時間、脈沖頻率、放氣孔的最佳結構與控制參數(shù)，同時對噴嘴疏水性處理也進行了比對研究，由此驗證了此氣動膜片式微滴噴射系統(tǒng)的可行性。
　　 最后以金屬焊料為對象，設計制作了適合金屬焊料微滴噴射的裝置，并搭建微滴噴射實驗平臺。借鑒

5、以水為對象的氣動膜片式微滴噴射機理研究的成果，成功完成金屬焊料的微滴噴射，并研究了氧化對焊料噴射的影響，并構建了局部惰性氣體保護環(huán)境，解決氧化對金屬焊球微滴噴射質量的影響。經(jīng)實驗驗證了該微滴噴射系統(tǒng)能產(chǎn)生一致性較好的焊球，其尺寸波動范圍在 3%以內，在壓力較高的穩(wěn)定噴射狀態(tài)下，生成的焊球直徑為噴嘴孔徑的2-3倍。同時在較低的驅動壓力下，該微滴噴射裝置還可以穩(wěn)定生成直徑接近于噴嘴孔徑的焊球，本文獲得了以80μm孔徑的玻璃微噴嘴生成的85μ

6、m的最小金屬焊球直徑。
　　 本文研制的氣動膜片式微滴噴射系統(tǒng)具有低成本、耐高溫、安裝簡單、便于維護，同時又具有較高的微滴噴射精度和可控性。
　　 此外，在進行本文研究的氣動膜片式微滴噴射技術之前，為滿足微電子封裝和發(fā)光二極管制造的需求，作者還研究了一種機械沖擊式高黏度流體微量噴射系統(tǒng)。但為了不影響論文的整體統(tǒng)一性，將這一部分內容放在本文附錄中予以詳細論述。在附錄中敘述了該機械沖擊式微滴噴射系統(tǒng)的工作原理與結構，進行了大