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1、SOI材料的多模平板波導(dǎo)也是影響器件性能的重要因素.論文用數(shù)值模擬和模式重疊積分法研究了平板波導(dǎo)基模經(jīng)傾斜光柵槽面反射后產(chǎn)生高階模的問題;首次用權(quán)重重疊積分法研究了大截面脊形波導(dǎo)和多模平板波導(dǎo)間的耦合問題;論文同時也用一種更為簡單的限制系數(shù)法估算了脊形波導(dǎo)和平板波導(dǎo)的耦合效率.在此基礎(chǔ)上,從平板波導(dǎo)多模問題的角度,給出了器件的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)和工藝誤差對器件串?dāng)_的影響.集成波導(dǎo)拐彎微鏡可以在很小的空間內(nèi)改變波導(dǎo)的方向,因此對減小平面光波導(dǎo)器件的
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