八梁固支壓阻加速度傳感器及測試電路.pdf

1、微加速度傳感器作為一種新型慣性器件廣泛應(yīng)用在汽車電子、軍事、航天航空、地質(zhì)勘探、災(zāi)害預(yù)報等方面。而壓阻微加速器具有頻率響應(yīng)快、靈敏度高、精度高、易于小型化等優(yōu)點，而且該種傳感器在強輻射作用下能正常工作。
　　本文設(shè)計制作了一種8梁固支彈性梁式壓阻加速度傳感器。由于其諧振頻率較高，因此具有很寬的頻率響應(yīng)范圍，并且通過優(yōu)化的電阻組合可以使器件具有很小的橫向靈敏度。本文的主要研究內(nèi)容如下：
　　首先，建立了8梁固支彈性梁式壓阻加速

2、度傳感器的結(jié)構(gòu)模型，同時建立針對該器件的靈敏度，固有頻率，阻尼比，等重要參數(shù)的數(shù)學模型，并對這些重要參數(shù)進行了理論推算。通過使用SOLIDWORKS軟件對理論推算結(jié)果進行了有限元分析模擬，最后對器件進行了優(yōu)化設(shè)計。通過優(yōu)化數(shù)據(jù)比較最后決定該壓阻微加速度傳感器的尺寸為3200μm×3200μm×900μm，質(zhì)量塊尺寸1400μm×1400μm×420μm，梁尺寸800μm×20μm×20μm。在該尺寸下，器件的靈敏度為24.5VμV/g，