苯系物碳納米管氣敏傳感器的研制.pdf

1、碳納米管由于具有比表面積高、孔隙結(jié)構(gòu)豐富和表面能高等特點，受到了研究人員的廣泛關(guān)注。采用碳納米管作為氣敏材料的氣體傳感器具有高靈敏度、低響應(yīng)時間和良好的穩(wěn)定性等優(yōu)點，具有廣闊的應(yīng)用前景。
　　本文主要針對碳納米管氣敏傳感器對苯系物的響應(yīng)特性開展研究。由于碳納米管薄膜具有孔狀結(jié)構(gòu)，苯系物氣體分子能夠在其中發(fā)生分子吸附以及毛細凝聚。由于苯系物氣體分子的吸附，碳納米管吸附氣體后電容值隨氣體濃度的改變而改變，據(jù)此可以通過傳感器電容的改變來

2、測試氣體濃度的改變。基于上述工作原理，選擇絲網(wǎng)印刷工藝制備了摻雜低溫玻璃粉的碳納米管薄膜苯系物傳感器。根據(jù)氣體測試的要求，設(shè)計滿足氣密性好、濃度可控、可觀察等要求的碳納米管苯系物傳感器測試裝置。
　　利用蒸鍍和光刻的工藝制作出Al電極，通過絲網(wǎng)印刷方式制作出碳納米管薄膜，進而制作出叉指電容式碳納米管苯系物氣敏傳感器。對碳納米管進行化學修飾，對化學修飾后的碳納米管傳感器的性能進行測試。實驗結(jié)果表明，經(jīng)過化學修飾可提高傳感器對低濃度被