基于掃描探針顯微鏡的微區(qū)機械特性測量技術研究.pdf

1、隨著納米技術的迅速發(fā)展，掃描探針顯微鏡(SPM)相關技術及其應用已經成為納米科技的一個重要發(fā)展方向。掃描探針顯微鏡不但可用于微觀形貌觀察，還可以得到材料的電學、磁學和機械特性等微觀信息。為此，發(fā)展出了一系列的掃描探針顯微鏡，如近場光學掃描顯微鏡(NSOM)、磁力掃描顯微鏡(MFM)、納米阻抗顯微鏡(NIM)、靜電力掃描顯微鏡(EFM)等。基于SPM的電學、光學、磁學性能的測量均已有成功的商業(yè)產品；而傳統(tǒng)的機械特性測量方法在微觀領域的應用

2、則有待深入。
　　 微機電系統(tǒng)(MEMS)工藝制備的器件具有極敏感的機械特性。MEMS在傳感和振動領域的發(fā)展已經相當成熟。MEMS與SPM結合可在微區(qū)機械特性測量方面滿足微小振動控制和高精度測量的需求。
　　 本論文首先對材料微機械特性的測量技術進行了綜述，在此基礎上提出了基于靜電力驅動的微橋測量模型，并利用SPM的縱向高分辨率實現(xiàn)應變測量，采用MEMS技術加工制備了測量用微橋。通過對原有開放式控制系統(tǒng)軟硬件的二次開發(fā)，