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1、該文應(yīng)用了聲表面波(SAW)器件的質(zhì)量沉積效應(yīng)原理,設(shè)計(jì)了一種新型的生物傳感器結(jié)構(gòu).主要內(nèi)容如下:首先綜述了生物傳感器技術(shù);然后介紹了SAW技術(shù)在傳感器技術(shù)中的應(yīng)用及其特點(diǎn);最后討論了該課題的研究意義.討論了SAW表面波技術(shù)、微細(xì)加工技術(shù)、薄膜生長技術(shù),以及它們?cè)谠撜n題中的應(yīng)用.介紹了該器件結(jié)構(gòu)與傳感原理;并結(jié)合國內(nèi)外的文獻(xiàn)報(bào)道,通過分析對(duì)比,討論該器件在結(jié)構(gòu)和性能方面的優(yōu)越性;最后,說明了器件的實(shí)現(xiàn)過程與該論文的研究任務(wù).介紹了該器件
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