超精密定位理論及關(guān)鍵技術(shù)的研究.pdf

1、精密定位技術(shù)是超精密加工、集成電路器件制造、電子產(chǎn)品組裝線(xiàn)、生物工程及納米技術(shù)等領(lǐng)域的關(guān)鍵性基礎(chǔ)性技術(shù),其技術(shù)涉及到激光理論、電子技術(shù)、精密機(jī)械、傳感與測(cè)量、信息處理、計(jì)算機(jī)、伺服驅(qū)動(dòng)、智能控制等多門(mén)學(xué)科,具有廣泛的應(yīng)用前景。
　　 本文提出了利用激光莫爾信號(hào)進(jìn)行高精度位置檢測(cè)與控制的技術(shù)方法,應(yīng)用物理光學(xué)和傅立葉光學(xué)理論,分析了雙級(jí)光柵衍射時(shí)的相對(duì)位移與激光莫爾信號(hào)強(qiáng)度的關(guān)系,建立了基于激光莫爾信號(hào)的精密位移測(cè)量數(shù)學(xué)模型。應(yīng)用

2、數(shù)值分析方法對(duì)建立的數(shù)學(xué)模型進(jìn)行了計(jì)算機(jī)仿真。為提高位置檢測(cè)信號(hào)的靈敏度及定位精度,提出了差動(dòng)式和修正式兩種精密定位方法,利用研究的兩種定位方法,建立了精密定位的復(fù)合控制系統(tǒng),其中粗定位采用修正莫爾技術(shù),精定位采用差動(dòng)莫爾技術(shù)。通過(guò)粗定位和精定位相結(jié)合的兩段式復(fù)合定位,可保證在較大的信號(hào)捕捉范圍內(nèi),實(shí)現(xiàn)高速高精度定位,有效解決了定位精度、定位速度與信號(hào)捕捉范圍三者之間的矛盾。針對(duì)精密定位系統(tǒng)存在非線(xiàn)性,精確控制模型難以建立的缺陷,將不基