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文檔簡介
1、本文利用陶瓷靶（Al2O3:2％wt）在浮法玻璃襯底上利用中頻脈沖直流磁控濺射法制備出了ZnO:Al（ZAO）透明導(dǎo)電薄膜。研究了工作壓力、襯底溫度和濺射功率對ZAO薄膜的結(jié)構(gòu)性能和光電性能的影響，工作壓力對ZAO薄膜穩(wěn)定性的影響。結(jié)果表明工藝參數(shù)對ZAO薄膜的結(jié)構(gòu)性能和光電性能影響很大，光學(xué)帶隙隨載流子濃度的增加而增加，光的吸收與吸收材料的帶隙有直接關(guān)系。工作壓力4mtorr，襯底溫度225℃，濺射功率160W時得到比較好的透過率和電
2、阻率，沉積的ZAO薄膜有較高的濕熱穩(wěn)定性，較低的工作壓力下，薄膜出現(xiàn)了更好的濕熱穩(wěn)定性，這種現(xiàn)象與Oliver Kluth等人修改后的Thornton model一致。
在濃度為0.5%的稀HCl中，把制備的ZAO薄膜腐蝕一段時間，最后制備出了具有陷光作用的絨面ZAO薄膜，合適的表面絨度對在太陽電池內(nèi)部提供一個有效地光散射是必須的。研究了襯底溫度、工作壓力及腐蝕時間對絨面ZAO薄膜表面形貌的影響。最后得出襯底溫度對腐蝕后ZAO
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