短路關(guān)鍵面積提取與縮小方法研究.pdf

1、本文主要研究隨機(jī)缺陷導(dǎo)致版圖出現(xiàn)短路故障的情況。首先分析了在工藝制造過程中出現(xiàn)隨機(jī)缺陷的類型及其引起版圖出現(xiàn)故障的機(jī)理，介紹了短路關(guān)鍵面積的含義及模型，分析研究了短路關(guān)鍵面積的提取方法及已有的鄰接矩陣存儲結(jié)構(gòu)。由于短路關(guān)鍵面積的特性，采用已有的儲存結(jié)構(gòu)會導(dǎo)致空間的浪費(fèi)，故本文給出了一種新的短路關(guān)鍵面積的存儲結(jié)構(gòu)，這種存儲結(jié)構(gòu)在空間上取得很大的改進(jìn)。
　　此外，本文進(jìn)一步研究了短路關(guān)鍵面積的縮小。通過把版圖轉(zhuǎn)化為圖像，從圖像角度出發(fā)

2、，結(jié)合數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)膨脹算法原理，提出了一種新的短路關(guān)鍵面積縮小算法。文中還給出了兩種實(shí)現(xiàn)該縮小算法的方法：可移動空間試探法和可移動距離中值法，并對這兩種實(shí)現(xiàn)方式進(jìn)行了簡單的分析。本文提出的這種縮小算法不但考慮了缺陷的真實(shí)輪廓特征和粒徑分布特征，而且不受版圖線網(wǎng)的形狀的制約，為版圖優(yōu)化提供了更準(zhǔn)確的依據(jù)。
　　在此基礎(chǔ)上，本文基于鄰接表實(shí)現(xiàn)了COE（Critical Area On Edge Network）網(wǎng)的構(gòu)造及關(guān)鍵路徑的提取，