納米尺寸MgO薄膜制備及工藝參數(shù)對(duì)其沉積的影響研究.pdf

1、分析檢測(cè)生物樣品中所關(guān)注的物質(zhì)是否存在、測(cè)定其中的成分含量、檢測(cè)成分含量的變化、表征成分結(jié)構(gòu)有多種手段。其中生物傳感器具有高度的選擇性、極高的靈敏度、響應(yīng)快、樣品用量少、體積小、準(zhǔn)確度高等優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)被廣泛的應(yīng)用在醫(yī)學(xué)、生物工程、食品工業(yè)和環(huán)境污染物檢測(cè)等領(lǐng)域。
　　傳統(tǒng)的生物傳感器換能器的柵介質(zhì)材料為SiO2，隨著生物傳感器的發(fā)展，絕緣柵介質(zhì)層等效厚度已減小到納米量級(jí)，超薄的SiO2作為柵介質(zhì)材料導(dǎo)致?lián)Q能器的穩(wěn)定性和可靠程度降低，

2、納米尺寸的MgO薄膜具有良好的絕緣性、高的介電常數(shù)、價(jià)格低廉和多種制備方法等特點(diǎn)，具有替代SiO2的可能。本文主要研究?jī)?nèi)容如下:
　　1、使用磁控濺射技術(shù)，在Si襯底上制備優(yōu)良的納米尺寸MgO薄膜。利用SGC-10薄膜測(cè)厚儀對(duì)薄膜厚度進(jìn)行精準(zhǔn)測(cè)量。
　　2、構(gòu)建了磁控濺射法制備納米MgO薄膜厚度分布的理論模型，推導(dǎo)出厚度分布方程，并以離散值模擬出圖像。同時(shí)我們也將實(shí)際測(cè)得的厚度值進(jìn)行擬合，發(fā)現(xiàn)其與理論模型得到的結(jié)果符合的較好