數(shù)字光刻控制系統(tǒng)的研究與設(shè)計(jì).pdf

1、隨著微納技術(shù)（Micro-and Nano-technology）的不斷發(fā)展，以尺寸微小、操作尺寸極小為特征的微納器件己成為人們認(rèn)識和改造客觀世界的一種高新技術(shù)。由于傳統(tǒng)的微納加工控制技術(shù)面臨著諸多瓶頸問題，諸如制造過程難以有效控制和加工自動(dòng)化不高制約了微納加工技術(shù)的發(fā)展。而數(shù)字光刻控制系統(tǒng)是一種新型的微納器件加工控制技術(shù)，很好地解決了傳統(tǒng)微納加工系統(tǒng)控制中存在的問題，是二十一世紀(jì)里最具潛力的微納加工控制技術(shù)。
　　本文針對數(shù)字光

2、刻加工控制系統(tǒng)中工件臺控制、光源曝光控制、實(shí)時(shí)調(diào)焦監(jiān)測控制、數(shù)字掩模圖輸出控制的特點(diǎn)，采用計(jì)算機(jī)接口控制技術(shù)、硬件控制技術(shù)，控制軟件的實(shí)現(xiàn)進(jìn)行了較詳細(xì)的討論。研究設(shè)計(jì)出一套符合數(shù)字光刻加工應(yīng)用的計(jì)算機(jī)軟硬件控制系統(tǒng)，以擺脫傳統(tǒng)微納加工的束縛。
　　本論文首先分析了數(shù)字光刻控制系統(tǒng)的特點(diǎn)，從其需求出發(fā)確定了本控制系統(tǒng)的總體框架，然后展開逐項(xiàng)內(nèi)容進(jìn)行研究。
　　根據(jù)三維精密工件臺的運(yùn)動(dòng)特點(diǎn)采用了基于計(jì)算機(jī)控制技術(shù)。以三維精密控制

3、器為核心，實(shí)現(xiàn)了對三維精密工件臺xyz軸的精確運(yùn)動(dòng)定位控制。在硬件控制上的創(chuàng)新點(diǎn)是我們實(shí)現(xiàn)了對曝光光源曝光精確控制，包括曝光量、曝光時(shí)間及實(shí)時(shí)調(diào)焦控制，從而實(shí)現(xiàn)了精密工件臺的運(yùn)動(dòng)與曝光控制，實(shí)時(shí)調(diào)焦的聯(lián)動(dòng)控制。
　　論文對數(shù)字光刻加工中的微光學(xué)器件設(shè)計(jì)理論進(jìn)行了詳細(xì)分析，利用可視化的Windows和面向?qū)ο蟮某绦蛟O(shè)計(jì)語VisualC++6.0作為控制系統(tǒng)軟件的開發(fā)平臺，開發(fā)了數(shù)字光刻系統(tǒng)可視化的控制軟件。
　　最后，通過光刻