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文檔簡介
1、本文首先針對(duì)當(dāng)今MEMS器件的結(jié)構(gòu)化設(shè)計(jì)方法,從系統(tǒng)的高度,論證了MEMSCAD對(duì)MEMS器件設(shè)計(jì)的必要性.綜合對(duì)比當(dāng)今大型MEMS CAD軟件,分析了MEMSCAD中的重要組成部分-材料數(shù)據(jù)庫在MEMS器件的設(shè)計(jì)綜合分析、加工和仿真、產(chǎn)品測(cè)試等不同階段的重要作用.其次,結(jié)合MEMS材料屬性數(shù)據(jù)的半結(jié)構(gòu)化和XML語言自描述性的特點(diǎn),提出了用XML技術(shù)實(shí)現(xiàn)材料數(shù)據(jù)庫的設(shè)計(jì),采用XML語言描述其數(shù)據(jù)文檔結(jié)構(gòu),進(jìn)行了數(shù)據(jù)模式設(shè)計(jì),并將這些文檔
2、作為數(shù)據(jù)庫的底層數(shù)據(jù).根據(jù)設(shè)計(jì)平臺(tái)的要求,確定了數(shù)據(jù)庫的用戶界面、數(shù)據(jù)操作、底層數(shù)據(jù)文檔的三層體系結(jié)構(gòu).同時(shí)確定用Tk(圖形用戶界面包)作為界面設(shè)計(jì)工具,用Tcl(工具命令語言)作為數(shù)據(jù)操作語言.最后,實(shí)現(xiàn)了數(shù)據(jù)庫數(shù)據(jù)的增加、修改、刪除等功能,并且有效的與實(shí)驗(yàn)室平臺(tái)(MEMS GARDEN3.0)進(jìn)行集成.收集了大量的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行了分類,確定了數(shù)據(jù)庫的數(shù)據(jù)內(nèi)容.數(shù)據(jù)庫大約保存了100多種材料的數(shù)據(jù)屬性,其中包含如SiO2、單晶硅
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