基于力反饋控制進(jìn)給系統(tǒng)的電化學(xué)放電加工技術(shù).pdf

1、目前微電子機(jī)械系統(tǒng)(Micro-electromechanical systems,簡稱MEMS)正迅速發(fā)展,已廣泛應(yīng)用于汽車、消費(fèi)電子、醫(yī)療等領(lǐng)域。玻璃是 MEMS系統(tǒng)不可或缺的材料,具有高硬度、高脆性、耐磨損、耐腐蝕、絕緣、透明以及生物相容性等優(yōu)良屬性,然而它的微加工卻十分困難。電化學(xué)放電加工是一種有效的非傳統(tǒng)微細(xì)加工技術(shù),可用于加工非導(dǎo)電脆性材料。但是電化學(xué)放電加工小孔過程中,其加工深度、加工質(zhì)量、重復(fù)性和材料去除率等方面尚未達(dá)到

2、工業(yè)大規(guī)模生產(chǎn)的要求。為此,本文首先研究了電化學(xué)放電加工的機(jī)理和特性,提出并實(shí)驗(yàn)研究了振動輔助電化學(xué)放電加工技術(shù)和基于力反饋控制進(jìn)給系統(tǒng)的電化學(xué)放電加工技術(shù)。
　　在電化學(xué)放電加工的機(jī)理和特性的研究中,首先介紹了電化學(xué)放電加工的基本原理,并對其加工機(jī)理進(jìn)行了分析。隨后,研究了電化學(xué)放電加工的電壓—電流特性,分析其與電解液濃度和工具電極反應(yīng)面積之間的聯(lián)系,得出了最優(yōu)的加工電壓與工具電極反應(yīng)面積關(guān)系。
　　在基于力反饋控制進(jìn)給系

3、統(tǒng)的電化學(xué)放電加工技術(shù)的研究中,首先闡述了加工原理,構(gòu)建了實(shí)驗(yàn)平臺,與恒速進(jìn)給的電化學(xué)放電加工的效果進(jìn)行對比,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,基于力反饋控制進(jìn)給系統(tǒng)的電化學(xué)放電加工技術(shù)提高了電化學(xué)放電加工的加工質(zhì)量、加工效率和重復(fù)性等。
　　提出了振動輔助電化學(xué)放電加工新方法,通過一系列實(shí)驗(yàn)研究了機(jī)械振動臺參數(shù)對加工性能的影響。將新方法與普通電化學(xué)放電加工的效果進(jìn)行實(shí)驗(yàn)對比,結(jié)果表明,振動輔助電化學(xué)放電加工技術(shù)提高了電化學(xué)放電加工的加工深度和加工質(zhì)