基于脈沖激光沉積敏感膜的光纖F-P氫氣傳感器的研究.pdf

1、在能源需求量越來越大，并且環(huán)保意識不斷增強的現(xiàn)代社會，氫能作為一種清潔能源，具備極大的應用優(yōu)勢。但氫氣是一種易燃易爆的氣體，一旦泄露，就會有發(fā)生爆炸的危險。光纖F-P氫氣傳感器具有本征防爆，抗電磁干擾，體積小等諸多優(yōu)點，較電類傳感系統(tǒng)更加適合用于檢測氫氣濃度。
　　基于光纖傳感器在檢測氫氣濃度方面的優(yōu)勢，本課題研究了一種基于脈沖激光沉積敏感薄膜的光纖F-P氫氣傳感器，主要內(nèi)容如下：
　　1.介紹了四種類型的氫氣傳感器，闡述了

2、各種類型傳感器的特點以及光學型傳感器用于氫氣檢測的獨特優(yōu)勢；比較了不同的鍍膜技術，說明了脈沖激光沉積技術用于光纖傳感器鍍膜的優(yōu)點。
　　2.通過對膜片式光纖F-P傳感器的結(jié)構(gòu)與基本原理的論述，得到了傳感器的結(jié)構(gòu)參數(shù)；設計了一種可約束氫氣敏感膜膨脹方向改變F-P傳感器腔長的光纖傳感結(jié)構(gòu)，闡述了傳感原理。
　　3.研究了一種脈沖激光低溫沉積Pd/Ag合金膜的方法，并對薄膜的晶體結(jié)構(gòu)、顯微組織、表面形貌等進行了表征分析，初步獲得了