激光干涉光刻納米陣列的研究.pdf

1、本論文通過(guò)深入研究激光干涉的基本理論，設(shè)計(jì)不同相干光束從不同的方向入射在空間形成干涉，并分析相關(guān)參數(shù)(入射角、空間角、偏振狀態(tài)、光強(qiáng)、位相等)對(duì)激光干涉結(jié)果的影響。論文主要對(duì)激光干涉光強(qiáng)分布進(jìn)行了編程及模擬、并用此模擬得到了多光束干涉在不同參數(shù)下的二維及三維光強(qiáng)分布，并在此基礎(chǔ)上搭建實(shí)驗(yàn)光路，用反射鏡、分光鏡來(lái)控制光路的折轉(zhuǎn)，用擴(kuò)束鏡對(duì)相干光束進(jìn)行擴(kuò)束，利用CCD進(jìn)行干涉圖像采集、分析參數(shù)對(duì)納米級(jí)干涉周期性圖案的影響并進(jìn)行公式推導(dǎo)，從理

2、論上解釋在不同參數(shù)情況下的干涉現(xiàn)象，并結(jié)合已有的結(jié)果，總結(jié)得出激光干涉圖案在不同參數(shù)條件下，干涉結(jié)果的變化規(guī)律。進(jìn)一步推動(dòng)了激光干涉理論研究。
　　本研究共五章，第一章為緒論，簡(jiǎn)單介紹了激光的特性和激光干涉光刻的工作原理，以及納米科學(xué)技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域和激光干涉納米陣列加工的前景等；第二章為激光干涉的基本表達(dá)式，在激光干涉光刻的基本原理的基礎(chǔ)上，列舉了三光束、四光束、六光束干涉的原理示意圖，并且對(duì)一定參數(shù)條件下的干涉總光強(qiáng)進(jìn)行了公式推