2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、洳≥等≥~碩士學(xué)位論文論文題目筮電邀墓壁篚槿型魈差鍵羹趟撞苤嬰塞作者姓名籃互—盟——指導(dǎo)教師廛盎型墼撞——學(xué)科(專業(yè))扭撼劍堡區(qū)甚自動(dòng)垡所在學(xué)院墊叢生絲煎三壟堂瞳提交自期三委委五生三旦ABSTRACTMicroelectromechanicalsystem(MEMS)consistofmicro—sensor,micro—actuator,controlandsignalprocessingcircuitMEMSisextensiono

2、fmicro。electronicstechnologyIt。on“。。tmicroelectrol3icswithprecisiunmeehnicatprocesstechnologyandunitemicro。electronic,ICandmechanicstobeasystemWecanverifyandcompareatthestagefromdesigntomanufacturebymodellngandsimulation

3、,whichcarloptimizedesignofMEMSdevices,verifythevalidityofinanufaCtUteandprocessOnthebasisofcountrynaturalsciencefund”MEMSraodelingandapplictafionbasingonFEMterminalbehavior’’fauthorizationnumber:50105020),westartourresea

4、rchEquivalentcircuitmodelingtechniquedecomposesMEMSintosimpledevices,thenconstructsdevice‘mod。1withaeauiraIentcircuitAtlast,equivalentcircuitofsystemsisformedbyconnectingeachdevice,seqLIivalentcircuitThistechniquereprese

5、ntsthesystem—physicalcharacteristicandcanaDpliedonanyMEMSBut,F(xiàn)indingequivalentcircuitsisverydifficult,andequivalentdevicesarelimjtedbvSPICElibraryWeresealch[】lekeyfoundationaltechnologyusingANSYS,andsfLldvtheeffectofvm‘i

6、ousprocessparametersTiremainreseal’chworksasfollows:I、Analyzi】1£themacromodelingofnodalmacro—model,lumpednetworkmacro。modelandHDLmacro。model,pointingouttlleshortnessofthesemethods2、Deduill2thetwodifferentmethodsofequival

7、entcircuits:Fv1FIEquivalentcjrcultmacIlo—modelofmechanicai,dectricscoupdngclamped—clampedbeamisbttiltusingFVFImethodsAIso。weexhibithowtobuildaequivalentcircuitofafluidpJ’oblem3、TheDheno]menaofelectrostaticallypull—inisaf

8、amousinstablewededucedclose“formex口lessiDnofelectrostaticallyactuationPu】involtage,andstudytheelectrostaticalpull—inphenomenaotclamped—crampedbeam4、Tal(ingtl]eelectrostaticmicropumpforexample,themiel’opumpwasanalyzedbyAN

9、SYSStaticbehavioranddynamicbehaviorwasobservedUsingsequentiallycoupledphysicsanalysis,wesetupDhysicsenvironmelltstomechanics,electl。staticandfluid,andcalculatecoupleofthreedifferentfieldsTheeffectofprimaryparameterswel‘e

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