真空微電子加速度傳感器控制與檢測電路設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn).pdf

1、高精度微型加速度傳感器是近年來加速度傳感器研究的熱點(diǎn)，加速度傳感器的控制與信號檢測電路是高精度微型加速度計(jì)不可或缺的核心技術(shù)。
　　論文在分析國內(nèi)外加速度傳感器信號處理電路研究現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上，系統(tǒng)深入的重慶大學(xué)微系統(tǒng)中心研制的真空微電子加速度傳感器的結(jié)構(gòu)與工作原理，以及在靈敏度、噪聲以及穩(wěn)定性等方面存在的問題，建立了真空微電子加速度傳感器的 PID閉環(huán)控制模型；在系統(tǒng)分析真空微電子加速度傳感器的噪聲基礎(chǔ)上，基于微弱信號檢測理論，提出

2、了基于調(diào)制和相干解調(diào)算法的信號檢測新方法；基于真空微電子加速度傳感器專用ASIC電路，完成了控制與檢測電路設(shè)計(jì)與裝調(diào)，研制出真空微電子加速度傳感器的控制與檢測電路。測試結(jié)果表明：研制的真空微電子加速度計(jì)閾值電壓為0.7v，發(fā)射電流達(dá)到100uA，靈敏度為1.06206V/g，非線性度為0.9％，工作帶寬約為120Hz，穩(wěn)定性得到了顯著改善。
　　論文的主要研究工作是：
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3、以及穩(wěn)定性等關(guān)鍵技術(shù)問題，確定了真空微電子加速度傳感器控制與檢測系統(tǒng)的總體方案；
　　②分析了真空微電子加速度傳感器敏感結(jié)構(gòu)的力學(xué)特性，建立了敏感結(jié)構(gòu)的理論模型。根據(jù)真空微電子加速度傳感器的結(jié)構(gòu)及工作原理，建立了加速度傳感器的PID閉環(huán)控制系統(tǒng)模型，提出了加速度傳感器的控制電路方案；
　　③系統(tǒng)分析了真空微電子加速度傳感器的信號特點(diǎn)、噪聲特性以及來源，基于微弱信號檢測原理，提出了基于調(diào)制和相干解調(diào)算法的傳感器信號檢測和處理方