微傳感器微弱電壓信號(hào)讀出電路芯片設(shè)計(jì).pdf

1、微傳感器是采用微米級(jí)的微電子和微機(jī)械加工制造技術(shù)制作而成的新型傳感器，它具有體積小、重量輕、功能多、可靠性高以及易于實(shí)現(xiàn)智能化等特點(diǎn)，已被廣泛的應(yīng)用在航空、航天、國(guó)防軍事、工業(yè)過(guò)程控制以及醫(yī)療保健等領(lǐng)域。微傳感器中市場(chǎng)份額占有量最多同時(shí)也是使用比較廣泛的是微加速度傳感器和微機(jī)械陀螺儀。微加速度傳感器的作用是測(cè)量加速度，是一種基于MEMS技術(shù)的微型慣性儀表微加速度傳感器。微機(jī)械陀螺儀是一種用來(lái)測(cè)量物體運(yùn)動(dòng)的角度或角速度的傳感器，它是采用與

2、集成電路工藝相似的MEMS工藝制造的。這些高精度的微傳感器系統(tǒng)對(duì)后續(xù)讀出電路要求很高，因?yàn)楹罄m(xù)讀出電路的噪聲性能主要決定了微傳感器系統(tǒng)能探測(cè)到的最小信號(hào)幅度，因此很有必要研究設(shè)計(jì)一種高精度的微傳感器后續(xù)讀出電路。
　　 本論文依據(jù)常見(jiàn)的微電容式傳感器的相關(guān)參數(shù)指標(biāo)設(shè)計(jì)了高精度的信號(hào)讀出電路芯片。首先提出了整體讀出電路結(jié)構(gòu)框圖，然后采用新加坡特許Chartered0.35μm CMOS工藝設(shè)計(jì)了讀出電路結(jié)構(gòu)中的單端運(yùn)算放大器、時(shí)序