難加工材料-異型面超聲輔助微精電加工系統(tǒng)優(yōu)化及應用研究.pdf

1、本文概述了微細加工技術及應用特點，介紹了常用微細特種加工及輔助微細加工工藝，著重分析了微細超聲加工和微細電解加工技術的特點與應用現(xiàn)狀，進而提出了難加工材料/異型面超聲輔助微精電加工這一新技術構想。
　　 介紹了超聲加工與電解加工的原理、設備、應用特點，闡述了超聲輔助微細加工的工藝條件，論述了超聲輔助電解加工技術實現(xiàn)微細加工的可行性。
　　 對超聲振動系統(tǒng)（重點對超聲變幅桿）運用ANSYS軟件進行優(yōu)化分析，并進行參數(shù)動力學

2、分析。在模態(tài)分析中，得到了固有頻率;在超聲振動系統(tǒng)的諧響應分析中，得到了固有頻率下的動態(tài)響應，放大系數(shù)，并且與解析值相比較，結果證明兩者之間基本一致，這為超聲變幅桿的優(yōu)化設計建立理論基礎。對連接工具電極的指數(shù)型變幅桿進行分析和優(yōu)化設計。
　　 編寫VC++源程序，可實現(xiàn)各種類型的變幅桿的計算機輔助編程，用數(shù)控車削加工可制作超聲加工系統(tǒng)實際應用所需的變幅桿;微細陰極制作工藝是超聲輔助微細加工的關鍵所在，先是制作一個界面，然后在對超

3、聲系統(tǒng)優(yōu)化分析的基礎上，利用“組合電加工”工藝制作微細陰極。利用精密電加工機床，通過“平動拷貝”及“多軸聯(lián)動復合進給”等微細放電方式，制作復合微細加工試驗研究所用的陰極，并探討了制作各類截面微細陰極的基本方法。
　　 對壓電陶瓷、硅片、硬質合金等材料進行了單一超聲加工試驗及分析，對硬質合金(YG8、YT15等)進行了超聲輔助電解微細加工試驗，檢驗了超聲輔助電解微細加工工藝的可行性和復合加工裝置工作的可靠性。
　　 進行磨