多線切割機關(guān)鍵問題研究與模擬仿真.pdf

1、太陽能發(fā)電是解決全球能源危機的有效途徑,電子信息產(chǎn)業(yè)是改變?nèi)祟惿罘绞綇娪辛Φ闹破?硅晶片作為電子信息產(chǎn)業(yè)和光伏產(chǎn)業(yè)的基底元件需求旺盛,傳統(tǒng)的硅片切割技術(shù)已經(jīng)不能滿足市場對其產(chǎn)量和質(zhì)量的要求。目前,具有切割直徑大、出片率高、切口損耗少、切片表面質(zhì)量好等優(yōu)點的多線切割機已經(jīng)成為硅片切割領(lǐng)域的主流,然而多線切割機的關(guān)鍵技術(shù)多年來一直掌握在發(fā)達國家手中,因此研究多線切割機的關(guān)鍵技術(shù)開發(fā)我國自主知識產(chǎn)權(quán)的的多線切割機成為我國掌握產(chǎn)業(yè)主動權(quán)的迫

2、切需要。
　　本文對自由磨粒多線切割加工機理進行了研究,認為在切割區(qū)域內(nèi)由于流體動壓效應(yīng)的存在,砂漿中碳化硅磨粒對硅晶體表面的反復(fù)碰撞而導(dǎo)致的材料去除不可忽視。建立了單磨粒對硅晶體表面的沖擊模型,利用有限元分析軟件模擬了不同形狀、不同大小的磨粒在相同速度下對硅晶體表面沖擊所產(chǎn)生的應(yīng)力,結(jié)果證明:在相同條件下,大小不同的球形磨粒對靶材的沖擊力有明顯的差異,磨粒直徑越大對靶材的沖擊力越大;不同形狀的磨粒對靶材造成的的最大沖擊力也不盡相