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1、針對(duì)微型機(jī)電系統(tǒng)中存在的摩擦問題,以及現(xiàn)有摩擦測(cè)試設(shè)備并不適用于研究微機(jī)電系統(tǒng)中的摩擦磨損現(xiàn)象。本文參考現(xiàn)有摩擦測(cè)試設(shè)備和微機(jī)電系統(tǒng)的工作條件設(shè)計(jì)了一臺(tái)用于研究微小摩擦磨損測(cè)試的系統(tǒng),該系統(tǒng)包含:往復(fù)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng);旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng);正壓力載荷和摩擦力的測(cè)量系統(tǒng);磨損在線檢測(cè)系統(tǒng);環(huán)境控制系統(tǒng),具有的功能包含:正壓力載荷的恒定施加;往復(fù)摩擦與連續(xù)摩擦測(cè)試;正壓力載荷和摩擦力的測(cè)量;摩擦樣件的磨損在線檢測(cè);溫濕度檢測(cè)與控制溫濕度的恒定。利用Ligh
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