射頻CO2激光器的射頻電源設(shè)計(jì).pdf

1、射頻CO2 激光器因?yàn)槠洫?dú)特的優(yōu)點(diǎn)，在激光加工領(lǐng)域中占有非常重要的地位。射頻電源是射頻CO2 激光器的重要組成部分，射頻電源設(shè)計(jì)的好壞關(guān)系著射頻CO2 激光器的性能。本論文主要研究了小功率射頻電源系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方法。
　　 首先回顧了射頻CO2 激光器的發(fā)展歷程，在此基礎(chǔ)上介紹了射頻電源的發(fā)展歷程以及研究現(xiàn)狀。系統(tǒng)整理了射頻氣體放電的相關(guān)理論，包括放電氣體等效阻抗，射頻氣體放電的方式及理論模型，在此基礎(chǔ)上討論了射頻激勵(lì)頻率對(duì)射頻CO

2、2 激光器的影響。同時(shí)介紹了射頻電源的匹配概念和相關(guān)參數(shù)。
　　 其次設(shè)計(jì)了兩種射頻電源。根據(jù)自激式射頻電源的要求，設(shè)計(jì)了振蕩與功放一體化的電路，還采用四分之一波長微帶傳輸線進(jìn)行輸出電路匹配，并通過計(jì)算獲得了最優(yōu)的四分之一波長微帶傳輸線的參數(shù)。同時(shí)設(shè)計(jì)了它激式射頻電源。采用射頻電路設(shè)計(jì)軟件ADS2008分別仿真設(shè)計(jì)了它激式射頻電源的射頻振蕩器、射頻功率放大器以及匹配電路。通過分析仿真結(jié)果得出了它激式射頻電源適合激光管與射頻電源分