開槽冰凍固結(jié)磨料拋光墊的拋光性能研究.pdf

1、固結(jié)磨料拋光作為一種先進(jìn)的拋光技術(shù)，近年來成為學(xué)術(shù)界的研究熱點(diǎn)，而冰凍固結(jié)磨料拋光具有拋光墊制備工藝較為簡單、拋光溫度低等特點(diǎn)，也引起了人們的關(guān)注。目前，對冰凍固結(jié)磨料拋光的研究主要集中在平板式拋光墊制備及其材料去除機(jī)理等方面。研究發(fā)現(xiàn)，該拋光方式下拋光區(qū)域的廢液排出、拋光效率等方面仍然存在不足。本文為解決上述問題，提出了制備開槽冰凍固結(jié)磨料拋光墊的思路，并結(jié)合微晶玻璃的拋光需要，開發(fā)了不同槽型的冰凍固結(jié)磨料拋光墊，分析研究了兩種槽型拋

2、光墊的拋光效果。
　　本文主要研究工作包括以下幾個方面：
　　1.微米α-Al2O3的細(xì)化及其懸浮液的分散穩(wěn)定性研究
　　采用超聲、球磨與添加化學(xué)分散劑的復(fù)合分散的方法，研究不同組合的分散方式對微米Al2O3分散效果的影響，優(yōu)化分散工藝，使微米Al2O3溶液分散穩(wěn)定性及顆粒細(xì)化程度進(jìn)一步提高，為后期拋光取得較好的拋光效果奠定基礎(chǔ)。
　　2.開槽冰凍固結(jié)磨料拋光墊的制備
　　研究了不同槽型冰凍固結(jié)磨料拋光墊的

3、制備工藝，找出最佳的開槽工藝。設(shè)計(jì)并加工出了放射狀及柵格狀開槽模具，采用熱壓法成功地制備了帶溝槽的冰凍固結(jié)磨料拋光墊。
　　3.開槽冰凍固結(jié)磨料拋光墊的材料去除均勻性研究
　　在ANSYS及ABAQUS中建立了開槽冰凍固結(jié)磨料拋光墊拋光的應(yīng)力場模型，利用等效應(yīng)力分布的均勻性及應(yīng)力值的大小來表征材料去除的均勻性及材料去除率的大小，指導(dǎo)并驗(yàn)證后期的拋光試驗(yàn)，進(jìn)一步加強(qiáng)試驗(yàn)的準(zhǔn)確性。
　　4.“放射狀”及“柵格狀”開槽冰凍固