紅外焦平面集成微透鏡制作研究.pdf

1、分類號：州407UDC：53密紱編號紅外焦平面集成微透鏡制作研究PreparationOfIRFPAIntegratedMicroLens學位授予單位及代碼：睦疊堡王五莖f!Q!豎2學科專業(yè)名稱及代碼：毯生王堂皇崮住咀王堂!QSQ!業(yè)2研究萬向：生王醒避皇ME豎技丕申請學位級別：亟指導教師：端丕鏖堡熬握墅童班宜雖研究生：縫廈論文起止時『日J：2Q!Q：!l二墊!!：!!摘要針對幽內紅外焦平面探測器在真空下封裝的需求，本文探索制造與封裝更

2、好結合并更符合￡I外焦平面探測器使用效率的微透鏡。本文中介紹并制造完成了100％的填充因子捌有半滑f『J喪面輪廓結構新穎的微透鏡微鏡陣列(M舭)并對其進行了實驗研究。文中介紹了三種方式，跬計制造并驗汪其更適臺紅外光的微透鏡硨列，更適合與紅外焦平面集成的微透鏡陣列。以半混合的方式制造并與紅外焦平面集成，有效的減少浪費的紅外光；用熱熔融法制作出底面為正方形的SU82005光劉膠微透鏡陣列微透鏡之『丑J的間距為5um。然后用混合氣體sFn和o

3、：進行干法刻蝕轉移使光刻膠微透鏡陣，Ⅱ轉移到硅襯底上，從而得到所需要的無縫隙的100％填充因子的硅微透鏡陣列。實驗中sIi和0口的流量分別為200sccm和50sccm此時光刻膠和硅的Ⅱ蝕比為1：I_44。宴驗結果表明，該微透鏡陣，Ⅱ具有光滑的外表面，瓤糙度為lOnm左右微透鏡陣列的焦距集中在15dum到166pm之刪；利用氯氧化鉀各向異性刻蝕，沉積，熱回流和熱擠壓制造接近100％填充因子具有良好的光學性能的微透鏡陣列。關鍵詞：徽透鏡陣