激光干涉圖案的二維相移控制研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、納米技術(shù)是當今世界的一項關(guān)鍵技術(shù)，已成功用于包括醫(yī)學、藥學及生物檢測等許多領(lǐng)域。納米光刻技術(shù)具有很重要的應(yīng)用前景。在多種納米光刻技術(shù)中，激光干涉納米光刻技術(shù)是一種廉價光刻手段。為了提高激光干涉圖案的分辨率、保證干涉圖案的質(zhì)量和得到大面積的干涉圖案，需要在激光干涉納米光刻系統(tǒng)中實現(xiàn)對相移的精確控制。
　　本文是在激光干涉系統(tǒng)中，通過控制納米位移來實現(xiàn)激光干涉圖案的二維相移控制和擾動補償?shù)难芯?。納米位移是用高分辨率D/A轉(zhuǎn)換器和精密電

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