貼片機(jī)橫梁形變估計(jì)的改進(jìn)算法.pdf

1、在貼片機(jī)控制系統(tǒng)中，貼片頭的位置控制精度直接決定了產(chǎn)量和產(chǎn)品合格率。對于這類高精度機(jī)械設(shè)備，影響其精度的一個(gè)重要因素就是結(jié)構(gòu)形變。在很多工程實(shí)踐中，有限元分析方法（FEM）被認(rèn)為是得到機(jī)械結(jié)構(gòu)形變的有效途徑，然而，這種方法的弊端是具有很高的計(jì)算復(fù)雜度，因此不能被應(yīng)用于設(shè)備的在線誤差修正。為了解決這一問題，本文研究并提出了一種具有低計(jì)算復(fù)雜度、高精度的貼片機(jī)X軸橫梁在貼片頭運(yùn)動過程中的彎曲形變估計(jì)模型。第一，本文完成了基于SolidWor

2、ks的貼片機(jī)建模和ANSYS軟件的有限元分析仿真，為后續(xù)的數(shù)學(xué)模型建立和結(jié)構(gòu)參數(shù)辨識提供了可行性分析和數(shù)據(jù)基礎(chǔ)。第二，本文建立并簡化了靜態(tài)情況下橫梁彎曲形變的力學(xué)模型，并根據(jù)有限元結(jié)果對橫梁結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行了辨識，初步實(shí)現(xiàn)了具有較高精度、低計(jì)算復(fù)雜度的橫梁彎曲的在線估計(jì)算法。第三，本文給出了考慮貼片頭導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)強(qiáng)度的改進(jìn)預(yù)測模型，并借助增廣辨識方法實(shí)現(xiàn)了多個(gè)參數(shù)的同步辨識。該方法得到了更高精度的橫梁形變信息。最后，本文還提出了一種基于局部曲線