MEMS器件工藝特性及其性能測試的研究.pdf

1、本文在把握微細電火花技術(shù)的國內(nèi)外發(fā)展的現(xiàn)狀基礎(chǔ)上，對微細電火花技術(shù)做了深入的研究，就微細電火花的加工原理，在闡述其放電蝕除過程的同時，對復(fù)雜的放電過程進行了分析，對放電能量的轉(zhuǎn)換進行了圖示總結(jié)，并且研究了加工后工件的表面質(zhì)量和電參數(shù)影響的關(guān)系，利用窄脈寬放電實驗方法把表面質(zhì)量可能的結(jié)果進行了分類研究，對表面凹坑的形成原因和形成的大小進行了研究，采用ANSYS有限元仿真軟件進行建模仿真，模擬加工過程的溫度場，并對仿真結(jié)果進行圖像處理，可以

2、看到不同時刻的溫度變化和最終凹坑形成的大小，利用公式對其進行修正，得到凹坑的變化趨勢，驗證放電參數(shù)對表面質(zhì)量的影響規(guī)律。
　　課題針對這項技術(shù)的加工工藝特性做了深入研究，優(yōu)化設(shè)置多目標參數(shù)，采用的是科學(xué)的正交試驗方法，對各種參數(shù)對加工過程的變化規(guī)律進行總結(jié)，通過打孔的實驗得到了加工效率和電極損耗下的優(yōu)化參數(shù)，對粗加工和精加工的參數(shù)優(yōu)化有很大的指導(dǎo)作用。在加工0.1mm以下的微細結(jié)構(gòu)時，用到了精加工的參數(shù)優(yōu)化設(shè)置，經(jīng)過兩次實驗得到了

3、很好的實驗效果，為加工此類微細的結(jié)構(gòu)提供了有力的參考，并嘗試了自己設(shè)計的隔爆板和微齒輪的加工，根據(jù)不同的材料，選擇參數(shù)的組合，經(jīng)過多次的實驗，成功的加工出符合設(shè)計要求的隔爆板和微齒輪，總結(jié)出了加工工藝，為以后復(fù)雜零件的加工提供一個參考。對于極微細的結(jié)構(gòu)，需要相應(yīng)微細的電極，本文通過比較眾多的在線制作微細電極的方法，選用了塊電極反拷法進行了加工，制備出了直徑在0.1mm、0.08mm、0.05mm的不同電極，利用加工出的電極進行了打孔實驗