白光顯微干涉表面形貌三維測量系統(tǒng)的研究.pdf

1、隨著科學研究和先進制造技術的發(fā)展,滿足各種不同功能需求的多樣化表面不斷出現(xiàn),從統(tǒng)計性形貌特征表面發(fā)展到結構性表面,從簡單幾何表面發(fā)展到自由曲面,從微米精度發(fā)展到納米精度要求。這些發(fā)展對表面形貌測量技術提出了越來越高的新的要求。本文采用白光干涉技術和相移技術相結合的測量方法,研制出一套白光顯微干涉表面形貌三維測量系統(tǒng),適用于臺階、溝槽等結構性表面三維形貌的測量。
　　本文采用白光干涉技術和相移技術相結合的測量方法,研制出一套白光顯微

2、干涉表面形貌三維測量系統(tǒng)。此系統(tǒng)采用LED白光作為光源,避免了因鹵鎢燈等光源發(fā)熱而影響系統(tǒng)精度;并在系統(tǒng)中采用了光柵位移計量裝置,對系統(tǒng)垂直掃描進行即時位移計量,提高系統(tǒng)測量精度。在位移計量裝置基礎上,提出了基于PZT局部區(qū)域線性特征的改進性采樣策略。實驗結果表明,新的采樣策略在保證測量精度的同時,能大幅提高測量效率。同時,基于VC++平臺,設計開發(fā)了與白光垂直掃描測量系統(tǒng)配套的測量軟件。分析了用于三維形貌恢復的四種算法:極值法、重心法