加速計(jì)嵌入式激光自混合干涉位移補(bǔ)償技術(shù)的研究.pdf

1、基于光反饋效應(yīng)的自混合干涉技術(shù)是近年來(lái)興起的一項(xiàng)精密測(cè)量技術(shù)。自混合干涉測(cè)量技術(shù)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、測(cè)量精度高、易于準(zhǔn)直及非接觸性等顯著優(yōu)點(diǎn)。在位移、振動(dòng)等測(cè)量方面得到了廣泛的應(yīng)用。運(yùn)用駐波理論及多光束干涉的思想，建立了三鏡腔模型及Lang-Kobayashi方程法理論模型，獲得了光反饋條件下激光器輸出功率的數(shù)學(xué)表達(dá)式，對(duì)基于條紋計(jì)數(shù)法的任意位移信號(hào)的恢復(fù)算法進(jìn)行了深入的研究。
　　本文提出了加速計(jì)嵌入式激光自混合干涉位移補(bǔ)償技術(shù)。激光

2、自混合干涉技術(shù)雖然已經(jīng)成功用于位移的測(cè)量，但它和傳統(tǒng)的傳感器一樣需要保持激光器固定。這樣的情況限制了自混合干涉測(cè)位移技術(shù)在實(shí)際情況中的應(yīng)用。為了突破這個(gè)限制，將加速度計(jì)和激光器耦合在一起，讓激光器和目標(biāo)靶鏡同時(shí)振動(dòng)。對(duì)得到的信號(hào)進(jìn)行處理得到目標(biāo)靶鏡的實(shí)際位移。經(jīng)實(shí)驗(yàn)證明，加速度計(jì)耦合自混合干涉測(cè)量系統(tǒng)能夠穩(wěn)定運(yùn)行，可以較好得重構(gòu)出目標(biāo)靶鏡的振動(dòng)波形?？朔思す馄餍枰还潭ǖ南拗?，為激光自混合干涉測(cè)量向智能化，便攜化提供了發(fā)展思路，具有廣