基于自適應(yīng)濾波器的MEMS加速傳感器檢測電路的制作.pdf

1、微機(jī)械加速度傳感器屬于微機(jī)電系統(tǒng)(Micro Electro Mechanical Systems，MEMS)，它處于機(jī)械和電子的交叉領(lǐng)域，極大地縮小了機(jī)械尺寸并使得傳感、處理、傳輸?shù)裙ぷ鞲雍喕?。隨著科技的發(fā)展微機(jī)械加速度傳感器技術(shù)已經(jīng)應(yīng)用到了許多領(lǐng)域.大量的民用、軍用產(chǎn)品以及醫(yī)療器械產(chǎn)品應(yīng)用到了這種技術(shù)。而傳感器的檢測電路是傳感器的重要輔助部分，一個出色的檢測電路往往決定著傳感器的各項性能指標(biāo)，所以設(shè)計一個性能優(yōu)越的檢測電路尤為重要

2、，這是我們研究自適應(yīng)濾波器的小信號檢測的重要原因。
　　本文介紹了電容式加速度傳感器的結(jié)構(gòu)和工作原理，根據(jù)實(shí)際工作需要選取了加速度傳感器，圍繞傳感器設(shè)計檢測電路，并且對比了模擬檢測電路和數(shù)字檢測電路的優(yōu)缺點(diǎn)，最后設(shè)計了基于自適應(yīng)算法的數(shù)字檢測電路，重點(diǎn)闡述針對MEMS傳感器小信號模擬量的獲取、前置放大、A/D轉(zhuǎn)換等部電路構(gòu)成、以及技術(shù)性能優(yōu)點(diǎn).根據(jù)自適應(yīng)濾波器目前幾種流行算法的區(qū)別和優(yōu)劣，對算法進(jìn)行了分析。在此基礎(chǔ)上，對算法進(jìn)行了