微納三維定位工作臺機械結(jié)構(gòu)設計與有限元分析.pdf

1、三維坐標測量機廣泛的運用于精密測量行業(yè)中，超高精密技術(shù)的日益發(fā)展推動了納米測試技術(shù)的發(fā)展，對三坐標測量機性能及精度提出更高的要求，因此研制具有納米級精度的三坐標測量機已成為當務之急。實現(xiàn)納米級測量對三坐標測量機三維定位工作臺結(jié)構(gòu)精度提出了更高要求，本文主要對納米三坐標測量機的三維定位工作臺進行了研究與設計。
　　采用了“331”原則完成了納米三坐標測量機主體結(jié)構(gòu)設計。結(jié)合主體結(jié)構(gòu)及精密機械設計原則，運用機械設計軟件Solidwor

2、ks完成了測量機的三維定位平移臺的機械結(jié)構(gòu)設計，包括通用器件選型、測量器件選型及其調(diào)整機構(gòu)設計、共平面二維定位平移臺部件設計、Z向定位工作臺部件設計及基臺設計五部分。
　　運用有限元分析軟件ANSYS對微納三維定位工作臺各部分不同狀態(tài)進行了一系列的建模和重力及自重分析，分析指出：Z向工作臺及配重的重力引起的X、Y向定位工作臺在運動中結(jié)構(gòu)變形過大，對此提出添加力平衡系統(tǒng)的方案以平衡Z向系統(tǒng)重力；X、Y向工作臺自重變形過大，通過適當增