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文檔簡介
1、微納結構增透膜由于其在較寬的波段以及入射角范圍內能有效抑制反射損耗、增加光的透過率而得到廣泛關注。在科學研究方面,目前用于分析其反射特性的理論方法有很多,但如何在給定的條件下選擇適當?shù)睦碚摲椒ㄉ形赐耆鞔_;在應用方面,微納結構增透膜以其超透射、超帶寬、角度范圍大等物理特性帶來了優(yōu)越的器件性能和廣泛的應用前景。因此研究微納結構增透膜不論是對于理論研究還是應用研究都具有十分重要的意義。
本文首先介紹了分析微納結構增透膜反射特性的幾
2、種重要理論方法:等效介質理論、嚴格耦合波理論、時域有限差分法、有限元法。隨后,利用不同的理論方法分析微納結構增透膜反射特性的影響因素:微納結構的周期、高度、基底折射率與填充因子,通過計算、比較得出了不同理論的適用條件,即入射光的波長遠大于微納結構周期時,由于高級次衍射波的引入,等效介質理論不再適用;嚴格耦合波理論一般適用于周期性結構,計算結果較為精確;時域有限差分法與有限元分析法可以計算各種結構的反射特性,但是計算量取決于求解域的大小,
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