有機絕緣層材料聚(4-乙烯基苯酚)(PVP)噴墨打印工藝研究及薄膜表征.pdf

1、近年來，有機薄膜晶體管在柔性大面積顯示以及電子標簽領域受到廣泛的關注。噴墨打印技術是一種可直接圖案化沉積薄膜的工藝，能在柔性以及大面積襯底上實現(xiàn)高效圖案化加工。本課題的目標是將二者結合起來，研制高性能全打印有機薄膜晶體管。鑒于有源層的保密要求，在此只論述絕緣層噴墨打印的研究。
　　本文的主要工作是用壓電噴墨打印的方式制備聚(4-乙烯基苯酚)(PVP)絕緣層，并分析影響薄膜電學性能的因素，主要內(nèi)容包括：
　　(1)首先我們用丙

2、二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA)作為溶劑，配置了不同濃度的聚(4-乙烯基苯酚)(PVP)墨水，并對其印刷適性進行分析，結果表明，濃度在4wt％～10wt％范圍內(nèi)的PVP溶液對DMP-3000打印機有良好的印刷適性。
　　(2)研究了PVP薄膜成膜形貌與墨水濃度、打印點間距以及打印次數(shù)的關系，結果表明采用雙層打印的方式能有效減輕咖啡環(huán)現(xiàn)象，提高薄膜表面均勻性。噴墨打印技術作為薄膜沉積工藝，可以得到厚度在200～1000nm范圍內(nèi)的均勻

3、絕緣膜。
　　(3)采用M-I-M結構，研究了不同濃度PVP墨水以及不同打印次數(shù)對絕緣層電容特性的影響，測量數(shù)據(jù)表明：隨著墨水濃度的增加，電容減??；打印次數(shù)增加，絕緣層電容亦減??；并且打印薄膜的電容位于nF/cm2數(shù)量級，根據(jù)文獻報道，已基本可以滿足實用要求。
　　(4)研究了不同濃度PVP墨水以及不同打印次數(shù)對絕緣層漏電流特性的影響，漏電流測試表明：在0～40V的外加電壓下，PVP絕緣層的漏電流密度在10-11～10-8A