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1、分類號：TP212@單位代碼：11232密級：◆f京信息科技太學(xué)工學(xué)碩士學(xué)位論文MEMS氣流式傾角傳感器的設(shè)計與制作工藝的研究學(xué)院：理學(xué)院學(xué)科(專業(yè))：微電子學(xué)與固體電子學(xué)學(xué)號：2011020331作者：林建華指導(dǎo)教師：張福學(xué)教授完成日期：二零一四年一月十三日碩士學(xué)位論文原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明：所呈交的論文題目為《ⅧMS氣流式傾角傳感器的設(shè)計與制作工藝的研究》學(xué)位論文，是本人在導(dǎo)師指導(dǎo)下，進(jìn)行研究工作所取得的成果。盡我所知，除了文中特別
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