介孔ZnO材料的制備及氣敏性能的研究.pdf

1、ZnO氣敏傳感器以其響應(yīng)速度快、恢復(fù)時間短、選擇性好及對環(huán)境污染小等特點成為氣敏傳感器領(lǐng)域研究的熱點，引起人們的廣泛關(guān)注。其中， ZnO薄膜表面的孔結(jié)構(gòu)，對于氣體的檢測有著極大的優(yōu)化作用。
　　本文主要利用溶膠-凝膠法，以醋酸鋅（Zn(CH3COO)2·2H2O）為原料，聚乙二醇PEG為模板劑，合成了具有孔結(jié)構(gòu)的ZnO薄膜，考察了各種工藝參數(shù)對ZnO薄膜的微觀結(jié)構(gòu)、表面形貌及其氣敏性能的影響，從而得到了以下一些結(jié)果：
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2、．絡(luò)合劑的加入可以有效地抑制Zn(CH3COO)2·2H2O強烈水解，由二乙醇胺（DEA）做絡(luò)合劑所得溶膠合成的ZnO薄膜具有較好的孔結(jié)構(gòu)；醋酸鋅濃度及PEG的加入量對ZnO晶粒尺寸影響不明顯；煅燒時間比煅燒溫度對晶粒尺寸的影響大；ZnO晶粒尺寸隨水浴溫度的升高而增大，增幅不明顯。
　　2．具有孔結(jié)構(gòu)的ZnO薄膜，其孔徑大小隨醋酸鋅濃度的增大而增大，孔密度先增大后減??；低分子量薄膜孔徑小，且孔密度較高；孔徑隨 PEG加入量的增大而