頻率選擇表面的仿真、加工與測試研究.pdf

1、頻率選擇表面（frequency selective surface，F(xiàn)SS）是一種周期性平面二維陣列結構，其本質是一個空間電磁濾波器。當電磁波與FSS相互作用時，F(xiàn)SS會表現(xiàn)出明顯的帶通或帶阻的電磁波透射特性。FSS擁有良好的頻率選擇和極化選擇特性，能夠有效控制電磁波的傳輸與反射。隨著科技的不斷進步與發(fā)展，頻率選擇表面已經越來越多的應用于微波、紅外波及可見光波段領域。
　　近些年，國內外的學者及研究機構對 FSS進行了各種深入的

2、研究與分析，人們對FSS各種特性的認識也越趨完善。
　　本文對頻率選擇表面進行了以下的研究：利用CST MWS仿真軟件對118 GHz頻率選擇表面以及183 GHz頻率選擇表面進行仿真，研究了它們的頻率響應特性，以及線寬、周期長度、結構片厚度以及墊片厚度對頻率響應曲線的影響。利用UV-LIGA加工技術對118 GHz頻率選擇表面和183 GHz頻率選擇表面進行加工，并對樣品進行測試。利用掃描電子顯微鏡（scanning elect

3、ron microscope，SEM）對樣品進行測量，測量樣品的線寬、周期長度以及結構片厚度。同時，利用近場掃描法測試118 GHz頻率選擇表面的傳輸特性和反射特性。經試驗證明，在滿足指標要求的情況下，利用UV-LIGA技術加工的樣品具有良好的尺寸特性，樣品側壁陡直，并且118 GHz頻率選擇表面樣品的線寬誤差為±0.6μm；周期長度誤差為±2μm；結構片厚度誤差為±1μm。對于183 GHz頻率選擇表面而言，線寬誤差為±2.7μm；周