LTCC集成數(shù)控YIG振蕩器基礎技術研究.pdf

1、YIG（釔鐵石榴石）單晶小球振蕩器是基于材料的鐵磁共振特性而制備的一類微波鐵氧體器件，具有寬帶、線性、高Q、可調諧、低相位噪聲等特點，已經(jīng)成為雷達與電子對抗、高檔精密儀器等必不可少的關鍵器件。傳統(tǒng)的YIG振蕩器體積大、靠人工單件制作，為解決YIG振蕩器小型化與批量化制作的瓶頸問題，本論文將YIG振蕩器技術與LTCC（低溫共燒陶瓷）技術相結合，采用LTCC多層集成工藝，研究將 YIG小球嵌入LTCC的振蕩電路基板、實現(xiàn)諧振及振蕩電路的一體

2、化平面化集成基礎技術。
　　本文采用高Q值YIG小球諧振子，建立等效電路模型，通過微波仿真軟件優(yōu)對YIG諧振耦合結構以及振蕩電路、低噪聲設計、磁路設計等方面進行了設計優(yōu)化；通過LTCC工藝依據(jù)優(yōu)化的設計參數(shù)與結構進行了設計并制作出了LTCC集成YIG振蕩器樣品；配合驅動電路的制作與控制軟件的開發(fā)以及調試補償，完整實現(xiàn)了LTCC集成數(shù)控振蕩器的樣品制備，實現(xiàn)了基本的器件性能，測試結果與設計目標基本一致，驗證了所提出的技術研究方案的可