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1、本課題研制的濾光片主要應(yīng)用于激光通信系統(tǒng)中。針對(duì)激光通信系統(tǒng)中光學(xué)系統(tǒng)對(duì)濾光片的特殊要求,選取Ti3O5和SiO2分別作為高低折射率薄膜材料,在直徑φ25mm的K9玻璃基底材料上,通過(guò)膜系設(shè)計(jì)軟件TFCalc進(jìn)行雙面設(shè)計(jì)。在鍍制過(guò)程中,采用電子束加熱蒸發(fā)方式,配合離子輔助淀積技術(shù),利用石英晶控控制法對(duì)膜層厚度進(jìn)行監(jiān)控,通過(guò)反復(fù)優(yōu)化各項(xiàng)工藝參數(shù),制備出在532nm透過(guò)率為97.6%、808nm透過(guò)率為0.3%、1064nm透過(guò)率為97.8
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