半導(dǎo)體級直拉法的工藝控制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、進入21世紀以來，隨著新興產(chǎn)業(yè)的科技創(chuàng)新，半導(dǎo)體行業(yè)得到了空前的發(fā)展。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛，尤其近幾年，國家大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，縮短該行業(yè)與世界先進水平的差距。目前雖然有許多新興材料來替代硅材料，但未來幾年可以預(yù)見，硅材料由于其成熟的技術(shù)品質(zhì)和穩(wěn)定的物理化學(xué)性質(zhì)，將會在相當長的一段時間里是主流材料。硅單晶作為主要材料，應(yīng)用的領(lǐng)域也是相當廣泛的。硅單晶是由多晶硅原料經(jīng)過物理變化，讓硅原子按照人為設(shè)定的方向進行生長，最終形成的。一般會采用直拉

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