基于SECS的半導體自動控制系統設計與實現.pdf

1、隨著半導體工藝的飛速發(fā)展，各大半導體集成電路廠商以及研究人員紛紛開始找尋一種管理或者監(jiān)控手法，提出了先進制程控制（APC）系統的概念，希望可以更快捷跟精確的反應或修正半導體制造過程中的異常，及時避免不必要的錯誤來保障產品良率的提升。
　　本文在半導體晶圓制造的現狀以及半導體黃光區(qū)制程進行調研和分析的基礎上，提出了基于SECS的黃光區(qū)先進制程控制（APC）系統解決方案，主要有以下三個方面：
　　（1）結合當前制造型企業(yè)的現狀，

2、進行詳細的需求和可行性分析。按照生產線異常處理系統的具體需求，將系統劃分成多個子模塊進行詳細的需求建模。
　　（2）在充分掌握半導體制造的生產背景之下，對用戶功能進行了適合企業(yè)需求的軟件的體系結構。然后根據實際的生產過程需求，以及針對制程反饋概念進行不同層次的需求建模，針對每個層次的特點和功能要求，進行系統的具體開發(fā)。
　?。?）設計了應用實例，將設計的各個模塊應用于生產線系統中，對于系統進行模擬測試驗證，從而客觀的證明了黃