微構(gòu)件拉伸夾持對中機械結(jié)構(gòu)設(shè)計.pdf

1、隨著微納技術(shù)的迅速發(fā)展，微構(gòu)件機械的力學(xué)特性數(shù)據(jù)對MEMS結(jié)構(gòu)設(shè)計具有重要的影響。傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)材料的宏觀力學(xué)性能測試系統(tǒng)不能適用微構(gòu)件材料特性的測量，因此需要研制一種可以應(yīng)用于微構(gòu)件材料力學(xué)性能測量的系統(tǒng)。本論文在基于拉伸加載法對微構(gòu)件力學(xué)性能測量的基礎(chǔ)上，重點研究微構(gòu)件夾持對中引導(dǎo)方法、適用于微小被測試件的夾持機構(gòu)、力與位移加載結(jié)構(gòu)單元的設(shè)計，為后續(xù)測量系統(tǒng)的集成化打下了較好的基礎(chǔ)。
　　論文的主要研究內(nèi)容包括:
　　1.針對

2、微構(gòu)件力學(xué)性能指標(biāo)所需的測量參數(shù)，對拉伸法微構(gòu)件測試系統(tǒng)進行了整體結(jié)構(gòu)設(shè)計和模塊劃分，并進行了相關(guān)實驗器材的選型。
　　2.為滿足拉伸測試對被測試件對中要求，設(shè)計了以激光準(zhǔn)直特性為基礎(chǔ)的夾持頭對中調(diào)整系統(tǒng);并完成了相關(guān)實驗的搭建，對對中調(diào)整所需微小角度與位移進行了實驗驗證。
　　3.設(shè)計了基于柔性鉸鏈的微構(gòu)件夾持機構(gòu)。該機構(gòu)包括動、靜夾持頭兩部分，其中靜夾持頭實現(xiàn)夾持與載荷測量的功能，動夾持頭實現(xiàn)夾持、拉伸與位移測量功能。<