版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進行舉報或認領(lǐng)
文檔簡介
1、波長13.5 nm的極端紫外光刻(EUVL)作為傳統(tǒng)光刻技術(shù)的延續(xù),被廣泛認為是下一代最有前景的光刻技術(shù)(NGL)之一。激光等離子體光源(LPP)具有較高的轉(zhuǎn)換效率,低碎屑,光源尺寸小等優(yōu)點,因此被認為是實現(xiàn)極紫外光刻光源最有潛力的光源方案。隨著極紫外光刻的不斷推進,用于計量的極紫外光源的研究也具有重要的價值。選取合適的靶材與驅(qū)動激光是提高激光等離子體極紫外光源的轉(zhuǎn)換效率以及降低碎屑的關(guān)鍵。
本論文比較研究了不同波長激光作用下
2、Sn和SnO2靶的等離子體碎屑以及極紫外輻射特性;磁場及預脈沖激光作用下Sn靶等離子體及其極紫外輻射特性。
首先,系統(tǒng)研究了脈沖CO2激光和Nd:YAG激光分別作用Sn靶和陶瓷SnO2靶材產(chǎn)生的等離子體動力學特性及極紫外輻射特性。主要包括:基于直接成像法和離子飛行時間譜的方法,對等離子體羽輝膨脹及離子碎屑進行了研究,利用ICCD相機采集了CO2激光和Nd:YAG激光Sn和SnO2等離子體羽輝的膨脹過程,并獲得了Sn和SnO2等
3、離子體羽輝膨脹的邊界及膨脹速度的時間分辨特性。比較了CO2激光和Nd:YAG激光作用Sn和SnO2靶材產(chǎn)生的離子角向分布特性、離子動能的差異。結(jié)果發(fā)現(xiàn),SnO2陶瓷靶等離子體的離子碎屑動能較高。并對Nd:YAG激光Sn和SnO2等離子體離子飛行時間譜進行了Shifted Maxwell–Boltzmann分布擬合,得出了Sn和SnO2等離子體離子溫度、等離子體平均運動速度等參數(shù),發(fā)現(xiàn)與實驗數(shù)據(jù)結(jié)果吻合的較好。采用發(fā)射光譜法對激光Sn和S
4、nO2等離子體進行了診斷,發(fā)現(xiàn)同種激光作用下,SnO2等離子體的電子溫度和電子密度較大。同種靶材下,Nd:YAG激光等離子體的電子溫度和電子密度較大。
其次,在等離子體極紫外輻射特性部分,采用掠入射平焦場光柵光譜儀,測量了不同激光分別誘導Sn和SnO2靶產(chǎn)生的極紫外輻射譜,并通過極紫外輻射譜,計算了CO2激光和Nd:YAG激光作用下Sn和SnO2靶的極紫外轉(zhuǎn)換效率,發(fā)現(xiàn)SnO2等離子體極紫外輻射的效率較低。并利用Beer-La
5、mbert定律,對極紫外硅光電二極管測量Sn和SnO2靶產(chǎn)生的極紫外輻射的時間、空間分布特性進行了比較。結(jié)果發(fā)現(xiàn)長脈沖的CO2激光極紫外輻射的持續(xù)時間較長,且空間分布較均勻。
最后,研究了磁場作用以及預脈沖激光Sn等離子體動力學特性以及極紫外輻射特性。引入0.6 T橫向磁場,使用Nd:YAG激光誘導Sn靶產(chǎn)生等離子體,比較了有無磁場兩種情況下,Sn等離子體的離子碎屑、時間分辨光譜特性以及極紫外輻射特性,詳細分析了磁場對離子碎屑
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 液滴錫靶激光等離子體碎屑和極紫外輻射特性研究.pdf
- 激光微等離子體輻射特性的研究.pdf
- 27341.空氣和水中激光誘導金屬鎳靶等離子體輻射特性研究
- 激光誘導的GaAs和GaN等離子體特性研究.pdf
- 激光等離子體沖擊波的測試和特性研究.pdf
- 等離子體及等離子體覆蓋物體的電磁特性研究.pdf
- 激光誘導硅等離子體特性研究.pdf
- 激光等離子體引燃TIG電弧特性研究.pdf
- 激光等離子體的微波干擾和診斷研究.pdf
- 小型感應耦合等離子體源及其等離子體特性.pdf
- Gd靶極紫外光源的等離子體特性研究.pdf
- 真空環(huán)境下激光焊接等離子體特性研究.pdf
- 激光誘導金屬等離子體光譜特性研究.pdf
- 脈沖CO2激光燒蝕錫靶等離子體的數(shù)值模擬研究.pdf
- 激光等離子體特性及膨脹動力學研究.pdf
- 飛秒激光燒蝕鍺等離子體特性研究.pdf
- 激光輔助放電sn等離子體13.5nm極紫外輻射研究
- 激光誘導等離子體光譜及其特性分析.pdf
- 激光誘導大氣放電等離子體的電氣特性研究.pdf
- 脈沖激光燒蝕等離子體和ECR等離子體及相互作用的光譜研究.pdf
評論
0/150
提交評論