基于模糊綜合評價的藍寶石掏棒加工參數優(yōu)化.pdf

1、藍寶石由于其優(yōu)良的物理特性和化學穩(wěn)定性在半導體、國防科技、民用航天等行業(yè)運用廣泛。目前在LED襯底材料的使用上，藍寶石晶片占到了主導地位，且使用量逐年遞增。因此，如何高效的加工出優(yōu)質藍寶石材料成為了企業(yè)面臨的巨大挑戰(zhàn)。藍寶石晶片由晶棒通過切片加工得到，所以掏棒加工的效率和晶棒的質量對藍寶石行業(yè)發(fā)展有著非常大的影響。本文主要針對藍寶石掏棒加工效率低，成品質量不一的問題提出了一種解決思路：通過對藍寶石掏棒加工參數的分析和優(yōu)化來提高加工效率。

2、本文主要研究內容如下。
　　首先，目前國內少有藍寶石掏棒加工專用機床，大多企業(yè)還是采用普通鉆床進行加工。本文提出了一種利用普通鉆床改造成藍寶石掏棒機的方法。以Z5150A型立式鉆床為基礎，改造主軸箱和工作臺為伺服電機控制，保證加工時進給量有更多的參數選擇，為后面的參數優(yōu)化提供基礎。完成改造后對掏棒機進行有限元靜力學和模態(tài)分析，確保其可以順利完成掏棒加工。
　　其次，設計藍寶石加工參數各個水平搭配的正交實驗。加工參數由加工經驗

3、和工廠現實情況提出。完成實驗，對實驗結果進行統(tǒng)計學里的極差、方差分析得出初步的優(yōu)化參數組合，并根據此組合完成單因素加工實驗得到加工結果。由于方差分析的結果僅局限在已完成的幾組實驗中，有指導意義但不全面，所以還需要更加全面的分析。
　　再次，以模糊隸屬度理論為基礎，運用模糊綜合評價法對正交實驗結果進行全面分析，得出最終的優(yōu)化結果。對優(yōu)化結果進行實驗驗證，驗證參數優(yōu)化的正確性。
　　最后，通過以上的分析和優(yōu)化得到最優(yōu)的加工參數組