砂輪劃片機(jī)關(guān)鍵部件對其精度的影響.pdf

1、當(dāng)代是一個信息化高度發(fā)展的時代。半導(dǎo)體由于其獨特的優(yōu)勢被廣泛的應(yīng)用于計算機(jī)、航空航天、生物技術(shù)、電子產(chǎn)品乃至家用電器等社會的各個方面。隨著這些產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，提高砂輪劃片機(jī)的精度成為了發(fā)展的必然。
　　本課題來源于沈陽儀表科學(xué)院，根據(jù)所提供砂輪劃片機(jī)ZSH506，測繪并搭建了砂輪劃片機(jī)的平臺，目的是了解砂輪劃片機(jī)的結(jié)構(gòu)和為后期的分析工作做準(zhǔn)備。首先通過文獻(xiàn)的查閱、現(xiàn)場的調(diào)研和整理砂輪劃片機(jī)的故障史，分析出影響砂輪劃片機(jī)精度的主要因素。

2、然后，分別以影響砂輪劃片機(jī)精度的主要因素導(dǎo)軌磨損和懸臂主軸系統(tǒng)作為研究的對象展開了研究。利用Archard磨損理論，推導(dǎo)出了導(dǎo)軌的磨損表達(dá)式，再應(yīng)用矩陣轉(zhuǎn)換的理論將導(dǎo)軌的磨損轉(zhuǎn)換到被加工件的中心，得到最終的誤差。隨后建立了考慮螺紋和帶有間隙的螺栓連接有限元模型，并且考慮了螺栓預(yù)緊力和切削力等外載荷，利用了軟材料解決了帶有間隙的螺栓連接的不收斂問題;利用建立的有限元模型探究了螺栓預(yù)緊力對氣浮主軸精度的影響，得到了氣浮主軸軸線上的位移隨螺栓