多設(shè)備系統(tǒng)維護(hù)建模與方法研究.pdf

1、半導(dǎo)體設(shè)備是構(gòu)造復(fù)雜、價(jià)格昂貴的集成系統(tǒng)。隨著中國制造2025（工業(yè)4.0）的到來，工業(yè)生產(chǎn)社會(huì)化、智能化將越來越普及和廣泛，生產(chǎn)設(shè)備是否得到科學(xué)的維護(hù)將成為制約企業(yè)發(fā)展的重要因素。自工業(yè)革命以來，設(shè)備的維護(hù)的理念便隨之誕生，但過去那種計(jì)劃維護(hù)或事后維護(hù)的策略已經(jīng)完全不能滿足當(dāng)今工業(yè)生產(chǎn)的需要?，F(xiàn)代制造企業(yè)中，生產(chǎn)設(shè)備的集成化程度越來越高，并且在產(chǎn)品功能設(shè)計(jì)、技術(shù)要求以及設(shè)備可靠性上提出了更高的要求，因此針對設(shè)備維護(hù)不論是從維護(hù)方法上還

2、是從維護(hù)策略上都提出了新的挑戰(zhàn)，有關(guān)設(shè)備維護(hù)的研究成為了近些年各國家和工業(yè)生產(chǎn)企業(yè)關(guān)注和研究的重點(diǎn)。生產(chǎn)線設(shè)備中維護(hù)策略的選擇、維護(hù)時(shí)間點(diǎn)的確定、有限時(shí)間段內(nèi)的總花費(fèi)等因素都是維護(hù)管理中需要考慮的重要因素，本文在前人研究的基礎(chǔ)了提出了多部件串聯(lián)系統(tǒng)的視情維護(hù)模型，指出了運(yùn)用多種維護(hù)策略相結(jié)合的生產(chǎn)線組合優(yōu)化方法，模型結(jié)果顯示該方法可以明顯優(yōu)化整體的維護(hù)費(fèi)用，并且在分析設(shè)備衰退情況，優(yōu)化相關(guān)參數(shù)和策略抉擇上表現(xiàn)出很好的操作性。
　　

3、首先，本文介紹了研究背景及意義，綜述了國內(nèi)外研究人員最新研究成果的基礎(chǔ)上，詳細(xì)介紹了有關(guān)設(shè)備維護(hù)的相關(guān)理論以及論文的整體框架。
　　其次，闡述了有關(guān)設(shè)備維護(hù)的概念和理論，并詳細(xì)的介紹了目前主流的幾種維護(hù)策略，從各種維護(hù)決策的適用場景，優(yōu)缺點(diǎn)出發(fā)等方面出發(fā)做了歸納總結(jié)，為后文設(shè)備維護(hù)模型的搭建提供了理論支撐。
　　然后，建立了基于視情維護(hù)的設(shè)備維護(hù)決策模型，此數(shù)學(xué)維護(hù)模型以串行生產(chǎn)系統(tǒng)為研究對象，結(jié)合了多種維護(hù)決策的優(yōu)點(diǎn)，搭建