正負(fù)方波調(diào)幅電源及靜電探針數(shù)據(jù)采集分析系統(tǒng)研究.pdf

1、等離子體是物質(zhì)存在的一種基本形態(tài)，被視為是除了固體、液體和氣體之外，廣泛存在于宇宙和人類(lèi)的生活中的第四種物質(zhì)形態(tài)，其在能源、化學(xué)、材料科學(xué)、空間物理、環(huán)境科學(xué)等領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。在種種研究等離子體性能的實(shí)驗(yàn)手段之中，靜電探針診斷技術(shù)的作用尤為重要。例如通過(guò)對(duì)材料加工過(guò)程中的等離子體進(jìn)行探針診斷，可以通過(guò)得到的數(shù)據(jù)和圖形，分析并獲得等離子體變量和宏觀參數(shù)之間的關(guān)聯(lián)，從而對(duì)材料加工過(guò)程中等離子體中如何進(jìn)行物理、化學(xué)反應(yīng)，以及等離子體與材料

2、如何相互作用有更深的理解，在此基礎(chǔ)之上進(jìn)一步建立材料結(jié)構(gòu)、性能的整體框架，獲得材料性能改變的微觀機(jī)制，從而控制等離子體的加工過(guò)程。
　　作為等離子體參數(shù)診斷的必備工具之一，雖然朗繆爾探針測(cè)量理論在1924年已經(jīng)被提出，并在日后的發(fā)展中不斷進(jìn)步，但是實(shí)際測(cè)量的誤差一直比較粗燥，致使探針測(cè)量數(shù)據(jù)只具有數(shù)量級(jí)參考意義。
　　針對(duì)現(xiàn)有診斷儀器存在的不足，本文設(shè)計(jì)了一款基于USB總線的高性能、高精度、等離子體電壓-電流于一體的正負(fù)方波