彩色濾光片用光阻劑的配方及工藝研究.pdf

1、彩色濾光片使液晶顯示器實(shí)現(xiàn)了彩色化。在彩色濾光片制備方法中，顏料分散法是最常用的，而彩色光阻劑則是該方法中最重要的材料。彩色光阻劑的主要成分包括：堿可溶性樹(shù)脂、光固化樹(shù)脂、顏料、光引發(fā)劑、有機(jī)溶劑以及添加劑。本文著重從堿可溶性樹(shù)脂角度進(jìn)行研究，并得到一種性能優(yōu)良的光阻劑配方。此外，對(duì)光阻劑其他組分的影響和濾光片制備工藝的部分細(xì)節(jié)進(jìn)行了比較探討。 首先，自制了九種堿可溶性樹(shù)脂，根據(jù)酸值分為三個(gè)系列。每個(gè)系列的3種堿可溶性樹(shù)脂的分子

2、量不同，但都在10,000到30,000之間。分別用這九種堿可溶性樹(shù)脂配制光阻劑，發(fā)現(xiàn)同系列的堿可溶性樹(shù)脂區(qū)別很小，即可知分子量對(duì)光阻劑性能影響不大，特別是都小于40,000時(shí)；而不同系列的堿可溶性樹(shù)脂配制的光阻劑區(qū)別較大，即可知酸值對(duì)光阻劑影響較大。接著，利用自制的酸值為148.8mgKOH/g的堿可溶性樹(shù)脂配制出一個(gè)性能優(yōu)良的光阻劑。該光阻劑具有良好的解析度，可以光刻線寬為5um的條形圖案和文字，且圖案有較好的耐高溫性和耐化性，色差

3、均小于3，符合實(shí)際生產(chǎn)要求。 其次，對(duì)光阻劑中其他組分也進(jìn)行了研究，如光固化樹(shù)脂和添加劑等。實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，當(dāng)光固化樹(shù)脂的官能團(tuán)數(shù)較多時(shí)(如5個(gè)或6個(gè))，光阻劑曝光后易形成較致密的膜；另外，在光阻劑中加入適當(dāng)?shù)沫h(huán)氧樹(shù)脂可以改善后烘后光阻圖案的耐高溫性和耐化性，因?yàn)樵诟邷叵颅h(huán)氧樹(shù)脂與堿可溶性樹(shù)脂發(fā)生交聯(lián)反應(yīng)，使光阻層更穩(wěn)定；同樣，加入潤(rùn)濕流平劑后，光阻劑的流變性問(wèn)題也得到改善，使濾光片的膜層更加均勻平整。 最后，討論了制備濾光片