激光外差干涉絕對距離測量系統(tǒng)設(shè)計.pdf

1、絕對距離測量是精密計量領(lǐng)域中重要的研究內(nèi)容之一,大量程、高精度絕對距離測量具有廣闊的應(yīng)用前景。
　　本論文在分析外差干涉理論的基礎(chǔ)上,設(shè)計了一種激光外差干涉絕對距離測量系統(tǒng),該系統(tǒng)采用二極管泵浦1064nm單頻Nd:YAG激光器作光源,采用聲光移頻技術(shù)使入射的單頻激光產(chǎn)生布拉格衍射,得到零級衍射光和一級衍射光,兩束光的頻差為聲光調(diào)制器的調(diào)制頻率;采用干涉條紋整數(shù)和小數(shù)測量相結(jié)合方法,實現(xiàn)大量程、高精度絕對距離測量。本論文主要研究內(nèi)

2、容包括以下幾部分:
　　首先,概述了絕對距離干涉測量技術(shù)的研究現(xiàn)狀,分析了激光外差干涉測量技術(shù)的基本理論,重點(diǎn)分析了激光外差干涉絕對距離測量的基本原理。
　　其次,設(shè)計了激光外差干涉絕對距離測量方案及系統(tǒng),對該技術(shù)方案進(jìn)行了可行性研究,簡要介紹了測量系統(tǒng)的工作原理和系統(tǒng)組成,并對單頻Nd:YAG激光器Pound-Drever-Hall穩(wěn)頻相關(guān)技術(shù)進(jìn)行了理論分析和實驗研究。
　　最后,建立了激光外差干涉絕對距離測量實驗系